臺積電EUV明年量產7+納米,試產5納米

來源:   發布時間:2018-10-09 10:35:48   訪問人次:165

臺積電(TSMC)宣布投片采用部份極紫外光(EUV)微影技術的首款7+納米(nm)芯片,并將于明年4月開始風險試產(risk production)采用完整EUV的5nm工藝。

根據臺積電更新的數據顯示,其先進工藝節點持續在面積和功率方面提升,但芯片速度無法再以其歷史速度推進。為了彌補這一點,臺積電更新其開發中用于加速芯片間互連的六種封裝技術。

此外,臺積電并與Cadence等4家業界伙伴合作,共同支持后段芯片設計的在線服務。支持者表示,基于云端的服務將縮短時間并擴大芯片設計工具的范圍,有助于延展正面臨摩爾定律(Moore’s Law)放緩的半導體產業。然而,他們也指出,云端設計仍處于需要設定和優化自定義平臺的早期階段。

在工藝技術方面,臺積電宣布以N7+工藝節點投片客戶芯片,該工藝節點采用可處理4層光罩的EUV。而其N5 EUV則可提高到處理多達14層光罩,并將在明年4月準備好進行風險試產。透過EUV技術可望減少先進設計所需的光罩數,從而降低成本。

而其競爭對手三星(Samsung)也加速在7nm節點上采用EUV。此外,根據分析師表示,英特爾(Intel)預計短期內還不會使用EUV,而格芯(Globalfoundries)則已在今年8月宣布暫緩7nm和EUV的研發投入。

臺積電表示,根據采用Arm A72核心的測試,N5芯片將帶來14.7%~17.7%的速度提升以及縮減1.8%~1.86%的占位面積。N7+工藝節點則可降低6~12%的功率和以及提升20%的密度。然而,臺積電并未提到N7+的速度可提升多少。

目前,基于N5技術節點的芯片設計即日起啟用,不過,大多數EDA工具至少要到今年11月后才能達到0.9版本的可用性。臺積電的許多基礎IP模塊已經為N5準備就緒,但包括PCIe Gen 4和USB 3.1等部份規格可能要到明年6月才能到位。

N7+技術節點采用更緊密的金屬線距,并包含一個有助于降低動態功率的單鰭庫。明年4月還將推出汽車設計版本。臺積電研究發展/設計暨技術平臺副總經理侯永清表示,N7+提供了“與N7幾乎相同的模擬性能”。

臺積電表示,N7的晶體管密度比代工廠的40nm節點更高16.8倍。遺憾的是,更先進工藝帶來的成本也在水漲船高。據消息來源之一指出,N5設計的總成本包括人工和IP授權費用約高達2億至2.5億美元,較目前7nm芯片所需要的1.5億美元更大幅上漲。

平面工藝與封裝技術布局

此外,臺積電并提供兩種平面22nm工藝。其目標在于與Globalfoundries和三星的FD-SOI工藝競爭。Globalfoundries于上個月底宣布其22nm FD-SOI的設計訂單超過50項。

預計在今年年底之前,工程師就能采用臺積電的22ULP和ULL工藝展開設計,這些工藝通常采用28nm設計規則,并支持0.8到0.9V。但部份可用于22nm節點的IP預計要到明年6月后才能到位,包括PCIe Gen 4、DDR4、LPDDR4、HDMI 2.1和USB 3.1區塊等。

專用于高效能的22nm ULP版本速度提升高達10%,功耗降低20%,且比28 HPC+版本更低10%。ULL版本的目標在于為藍牙芯片等設計提供最低功耗。預計到明年4月將會有一個支持1.05~0.54V電壓的版本就緒,并為模擬電路實現優化。

針對封裝技術,候永清并更新臺積電的晶圓級扇出(Fan-Out)技術,特別是用于互連智能型手機應用處理器和內存的 2項整合扇出型(InFO)技術。

整合扇出型封裝——InFO-on-Substrate是一種芯片優先工藝,在SoC和40nm SoC I/O間距之間采用2微米互連。65mm2芯片目前已可量產。InFO-Memory-on-Substrate則將在年底前投入量產,用于在完整的830mm2光罩上鏈接邏輯和典型的HBM內存。

臺積電CoWoS的2.5D工藝則將在使用180~150微米的C4凸點間距縮小,預計在今年年底前達到130微米間距。臺積電還將在明年4月將1.5倍光罩擴展到使用2倍光罩,以支持大型GPU和一些網絡ASIC等設計。

而另一類型的整合芯片系統(System-on-Integrated-Chips;SoIC)則將在明年5月之前取得EDA的支持和代工認證。該設計途徑是透過硅穿孔(TUV)連接間距小于10微米的凸塊,用于鏈接彼此堆棧的一個或兩個芯片。侯永清說:“這是提升性能和內存帶寬的另一種方式?!?/span>

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